容栅位移传感器的工作原理

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以电容器为敏感元件，将机械位移量转换为电容量变化，可进行位移的测量。平行板电容器的电容与极板面积成正比，与极板间距成反比。由一个固定极板和一个可移动极板，可以组成变面积式电容传感器。改变两极板的对应面积，传感器的电容随之变化。容栅位移传感器是基于变面积工作原理...