微细加工技术 一、微机械及其特征 1.微机械的概念 微型电子机械系统(MEMS)，是指集微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。 微型... 2014-12-07 微细加工技术
微细加工技术 一、微机械及其特征 1.微机械的概念 微型电子机械系统(MEMS)，是指集微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。 微型... 2014-12-07 微细加工技术
