数字式位移传感器 光栅由标尺光栅和指示光栅组成,两者的光刻密度相同,但体长相差很多,其结构如图1所示。图1 光栅测量原理 指示光栅上出现莫尔条纹，它们是沿着与光栅条纹几乎成垂直的方向排列的,如图2所示。图2 莫尔条纹示意 光栅莫尔条纹的特点是起放大作用,用W表示条纹宽度,P表示栅距,θ... 2014-11-05 数字式位移传感器
数字式位移传感器 光栅由标尺光栅和指示光栅组成,两者的光刻密度相同,但体长相差很多,其结构如图1所示。图1 光栅测量原理 指示光栅上出现莫尔条纹，它们是沿着与光栅条纹几乎成垂直的方向排列的,如图2所示。图2 莫尔条纹示意 光栅莫尔条纹的特点是起放大作用,用W表示条纹宽度,P表示栅距,θ... 2014-11-05 数字式位移传感器
