微型传感器概念和分类

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1．微传感器的概念⑴就单一传感器而言，微传感器是指尺寸微小的传感器，如敏感元件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小。⑵就集成的传感器而言，微传感器是指将微小的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封...