微机电系统加速度计 1．概述近几十年来，微电子技术发展非常快，集成度几乎每年翻一番。微电子技术和测试技术的进步，促进了微机电系统（Micro Electro—Mechanical Systems，简称MEMS）技术的兴起和发展，各类微型传感器、微型执行器如雨后春笋，发展势头非常迅猛。在这些新型的微机电传感器中，微机电系统加速... 2015-05-19 微机电系统加速度计
微机电系统加速度计 1．概述近几十年来，微电子技术发展非常快，集成度几乎每年翻一番。微电子技术和测试技术的进步，促进了微机电系统（Micro Electro—Mechanical Systems，简称MEMS）技术的兴起和发展，各类微型传感器、微型执行器如雨后春笋，发展势头非常迅猛。在这些新型的微机电传感器中，微机电系统加速... 2015-05-19 微机电系统加速度计
