SF6断路器常见的故障有：
（1）SF6断路器SF6气体水分值超标。一般可以采取三种方法和措施加以处理：①抽真空、充高纯氮气、干燥气SF6体；②外挂吸附罐；③解体大修。
（2）运行一段时间后部分SF6断路器发生频繁告警或闭锁信号时（一般10天左右一次），预示着该SF6断路器年漏率远远超过l％。检修中为了缩短停电时间，一般采用合格的备品相（柱）替代运行中漏气相（柱），而利用其他不停电时间对漏气相（柱）进行处理。
（3）500kV断路器用的合闸电阻投切机构失灵，不能有效地提高投入。造成这种情况的主要原因是投切机构可靠性不高。
（4）操动机构频繁打压。油泵频繁启动，除检查机构无外漏，主要反映在阀门系统内部有明显泄漏。处理时可将油压升到额定压力后，切断油泵电源，将箱中油放尽，打开油箱盖，仔细观察何处泄漏。在查明原因后，将油压释放到零后，有的放矢地解体检查。另外，对液压油液需要进行过滤处理，以减少杂质影响。
（5）在断路器调试过程中，分、合闸时间及周期性不满足要求。主要是通过调节后、合闸电磁铁间隙及供、排油阀来实现。
（6）蓄能器中氮气压力低或进油。运行人员在巡视过程中比较直观的现象是油压过低或过高现象。处理方法是将蓄能筒内部气体放尽后，卸下活塞内部密封圈，仔细检查密封圈的唇口和简体内壁，对损坏的密封圈应予以更换，对筒壁有稍许拉毛的，可用砂条进行少许圆周向修磨，直到宏观上看不出沿轴向有拉毛痕迹为止，对严重拉毛的需要更换。