影响电火花加工精度的主要因素有 : 放电间隙的一致性 , 工具电极的损耗及其稳定性 . 电火加工时 , 工具电极与工件之间存在着一定的放电间隙 , 如果加工过程中放电间隙保持不变 , 则可以通过修正工具电极的尺寸放电间隙进行补偿 , 以获得较高的加工精度 . 然而放电间隙的大小实际上是变化的 , 影响着加工精度 .
除了保持间隙能否一致性外 , 间隙大小对加工精度也有影响 , 尤其是对复杂形状的加工表面 , 棱角部位电场强度分布不均 , 间隙越大 , 影响越严重 . 因此 , 为了减少加工误差 , 应采用较少的加工规准 , 缩小放电间隙 , 这样不但能提高仿形精度 , 而且放电间隙愈小 , 可能产生的间隙变化量也愈小 ; 另外 ,, 还必须尽可能使加工过程稳定 . 电参数对放电间隙的影响也非常显著 , 精加工的放电间隙一般只有 0.01mm, 而粗加工时则为 0.5mm 左右 .
工具电极的损耗对尺寸精度和形状精度都有影响 . 电火花穿孔加工时 , 电极可以贯穿型孔而补偿电极损耗 , 型腔加工时则无法采用这一方法 , 精密型腔加工时可以采用更换电极的方法 .
影响电火花加工形状精度的因素还有 “ 二次放电 ”, 二次放电是指已加工表面上由于电蚀产物等的介入而再次进行的非必要的放电 , 它使加工深度方向产生斜度和加工棱角棱边变顿 .
电火花加工时 , 工具的尖角或凹角很难精确的复制在工件上 , 这是因为当工具为凹角时 , 工件上对应的尖角处放电蚀除的概率大 , 容易遭受腐蚀而成为圆角 . 当工具为尖角时 , 一则由于放电间隙的等距性 , 工件上只能加工出以尖角顶点为圆心 , 放电间隙 s 为半径的圆弧 ; 而则工具上的尖角本身因尖端放电蚀除的概率大而损耗成圆角 . 采用高频窄脉宽精加工 , 放电间隙小 , 圆角半径可以明显减少 , 因而提高了仿形精度 , 可以获得圆角半径小于 0.01mm 的尖棱 , 这对于加工精密小模数齿轮等冲模是很重要的 .
目前 , 电火花加工的精度可达 0.01-0.05mm, 在精密光整加工时可小于 0.05mm.