光栅的基本测量原理

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两光栅尺沿线纹方向保持一个很小的夹角θ、刻划面平行且有一个很小间隙(一般0.05mm,0.1mm),在光源照射下,在与两光栅线纹角θ的平分线相垂直的方向上,形成明暗相间条纹——莫尔条纹(横向莫尔条纹),两条亮(暗)纹间的距离称莫尔条纹宽度w。

光栅的基本测量原理

莫尔条纹特性:

1)光学放大作用

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放大比例k为

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若d=0.01mm,θ=0.01rad,则w=1mm,k=100。

2)均化误差作用

莫尔条纹→大量光栅线纹形成→误差平均效应→克服个别/局部误差→提高精度。

3)莫尔条纹移动与栅距移动成比例(同步性)

光栅移动一个栅距d→莫尔条纹移动一个间距w

光栅移动方向相反,莫尔条纹移动方向也相反。

在一个栅距d内,光电元件所检测的光强变化为正弦(或余弦)变化。

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