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变极距(δ)型: (a)、(e)
变面积型(A)型: (b)、(c)、(d)、(f)、(g) (h)
变介电常数(ε )型: (i)~(l)
(1) 变极距型电容传感器
(2) 变面积型电容传感器
角位移:极板2的轴由被测物体带动而旋转一个角位移θ度时,两极板的遮盖面积A↓→电容量↓。
板状线位移:极板2可以左右移动。极板1固定不动。
筒形:外圆筒不动,内圆筒在外圆筒内作上、下直线运动。
(3) 变介电常数型电容传感器因为各种介质的相对介电常数不同,所以在电容器两极板间插入不同介质时,电容器的电容量也就不同。这种传感器可用来测量物位或液位,也可测量位移。
表1 几种介质的相对介电常数 |
介质名称 |
相对介电常数εr |
介质名称 |
相对介电常数εr |
真空 |
1 |
玻璃釉 |
3~5 |
空气 |
略微>1 |
二氧化硅 |
38 |
其他气体 |
1~1.2 |
云母 |
5~8 |
变压器油 |
2~4 |
干的纸 |
2~4 |
硅油 |
2~3.5 |
干的谷物 |
3~5 |
聚丙烯 |
2~2.2 |
环氧树脂 |
3~10 |
聚苯乙烯 |
2.4~2.6 |
高频陶瓷 |
10~160 |
聚四氟乙烯 |
2.0 |
低频陶瓷、压电陶瓷 |
1000~10000 |
聚偏二氟乙烯 |
3~5 |
纯净的水 |
80 | |
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